洁净室(Clean Room）也叫无尘室、无尘车间、洁净厂房、无尘厂房、洁净车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。洁净室应用涉及到光学电子、半导体芯片、LED液晶制造，生物医药、精密仪器、饮料食品，PCB印刷等高新技术企业,以及医院和美容等行业的洁净手术室(无尘手术室).

1.洁净度100级 cleanliness class 100

洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。

2.洁净度1000级 cleanliness class 1000

洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。

3.洁净度10000级 cleanliness class 10000

洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

4.洁净度100000级 cleanliness class 100000

洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。

5.洁净度300000级 cleanliness class 300000

洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)。