气源部分

01

特点描述：一般分特气柜、气瓶架两种，配有压力侦测器、泄漏侦测漏报警、烟雾侦测报警、温度监测报警等管理控制系统，适合远程监测、远程切断。

气源部分注意事项

02

①　气瓶应专瓶专用，不能随意改装其他种类的气体。

②　气瓶室严禁靠近火源、热源、有腐蚀性的环境。

③　气瓶室必须使用防爆开关和灯具，周围禁止动用明火。

④　气瓶室应由通风设备，保持阴凉，气瓶室顶部应该留有泄流孔防止氢气的聚集。

⑤　空瓶与实瓶分区放置。气瓶室易燃易爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。

⑥　瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气，滑丝，表针松动等危险情况，各种气压表一般不得混用。

⑦　气瓶在存储、使用时必须直立放置，工作地点不固定且移动较频繁时，应固定在专用手推车上，防止倾倒，严禁卧放使用。

二次配部分

二次配是指气体管路一次工程完成后，用户设备到场，将已引入实验室(或车间等)的气体管路分别接入用户设备，使得设备完成供气需求，可以正常使用的过程。

管道部分

气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

基本的施工程序

制定施工计划→编制施工方案→施工准备→进入施工阶段→外观检查管路确认→压力测试（氦检漏）→系统吹扫→系统恢复→系统检测→系统验收。

施工管理和现场施工注意点

管口加工时双套管施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时要保证管道切割表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮气的准备工作。

管道与配件及设备连接安装

①　项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。

②　气体管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。

因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，最后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。

③　现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好;(管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。

④　焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认今天的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。

焊接试样要附上焊接参数。每天的焊接试样要妥善保存。(焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷)架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。

终端用气部分

特点描述：一般由阀门盘(VMP)出来到用气设备这一段。这部分相对简单，距离不会太长。但这部分是离操作人员最近、最容易碰到的一部分，因此，该部分最重要的是如何避免管道与阀门被无意碰到或踩，防止意外受损而漏气。

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